主要研究方向为面向光刻机等高端制造装备的超精密运动精度调控技术，目前在该领域已授权多项发明专利、软件著作权，于IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE/ASME Transactions on Mechatronics、IEEE Transactions on Neural Networks and Learning Systems等知名期刊发表多篇学术论文，主持国家自然科学基金等科研项目，参与国家科技重大专项等重大项目。