基本情况

宋法质，男，工学博士，教授，哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院。

主要研究兴趣为面向先进制造/检测装备全生命周期的运动生成、性能调控与精度保持关键技术，致力于解决专用高端装备的性能稳定性、一致性和可保持性难题，为高端装备国产化提供关键技术支撑。

详情参见：

Motion Control of Wafer Scanners in Lithography Systems: From Setpoint Generation to Multistage Coordination. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2024, 73: 7508040.

研究方向受国家重大工程专项、国家自然科学基金、黑龙江省优青、科研院所/企业横向课题等科研项目支持，研究成果发表于IEEE/CAA JAS、IEEE TNNLS、IEEE TMECH、IEEE TIE、IEEE TIM、IEEE TASE等国际刊物，应用于中国电科、中国科学院等本领域领军企业/科研院所，并获得中国仪器仪表学会技术发明一等奖（R2）。担任动力学与控制学报客座主编、Instrumentation青年编委、IEEE TMECH评审专家、国家自然科学基金函评专家等学术兼职。

讲授课程

自动控制及智能化基础，40学时

研究团队

哈尔滨工业大学谭久彬院士团队，超精密运动控制课题组

本课题组实验条件优良、科研经费充足，欢迎感兴趣的同学加入！

联系方式

通讯地址：哈尔滨工业大学科学园D栋314室

邮 箱：fazsong@hit.edu.cn

微 信：327419902

研究方向示意图：

实验条件示意图：